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1.冷凝法:氣提氦在工業(yè)上采用冷凝法該法工藝包括氣的預(yù)處理凈化、粗氦制取及氦的精制等工序,制得99.99%的純氦氣。

2.空分法:一般采用分凝法從空氣裝置中提取粗氦、氖混合氣,由粗氦、氖混合氣制純氦、氖混合氣經(jīng)分離及純化,制得99.99%的純氦氣。

3.氫液化法:工業(yè)上采用氫液化法從合成氨尾氣中提氦。該法工藝是低溫吸附清除氮、精餾得到粗氦加氧催化除氫及氦的純化,制得99.99%的純氦氣。

4.高純氦法:將99.99%的純氦進一步用活性炭吸附純化制得99.9999%的高純氦氣。

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